AMAT 0190-72680是Applied Materials（应用材料）公司生产的一种电容式压力传感器，主要用于测量真空腔室内的压力。它被广泛应用于半导体制造设备、真空镀膜设备等对真空度要求较高的工业领域。这款传感器以高精度、高可靠性、以及对多种气体的兼容性而著称。

主要特点

高精度测量:能够精确测量低压范围内的压力，通常用于测量10Torr以下的压力。

宽测量范围:适用于多种气体，具有良好的兼容性。

快速响应:响应速度快，能够实时监测压力的变化。

可靠性高:设计坚固耐用，适用于恶劣的工业环境。

数字输出:提供数字输出信号，方便与计算机等设备连接。

应用场景

半导体制造:用于半导体制造过程中的真空腔室压力测量。

真空镀膜:用于真空镀膜设备的真空度监测。

科研实验:用于各种科研实验中对真空度的测量。

技术参数

测量范围:0-10 Torr

精度:±1%FS

响应时间:毫秒级

输出信号:数字信号

工作温度:-20℃~+70℃

深圳长欣自动化设备有限公司
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