CP-8 Marathon 

半导体制造:用于制造集成电路、晶圆等。

平板显示:用于制造液晶显示屏、有机发光二极管等。

测试设备:用于测试真空系统的性能。

太阳能制造:用于制造太阳能电池。

涂层:用于真空镀膜。

热真空系统:用于模拟太空环境。

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Description

Marathon CP-8是一款由SHI Cryogenics Group生产的高性能低温泵,属于Marathon CP系列。它专为满足高真空工艺的需求而设计,广泛应用于半导体制造、平板显示、测试设备、太阳能制造、涂层和热真空系统等领域。

Marathon CP-8

主要特点与功能

紧凑设计:CP-8是Marathon CP系列中最小的低温泵之一,具有紧凑的设计,适合安装在空间有限的系统中。

高性能:采用SHI的CH-204 10K低温冷却器和Displex®气动驱动技术,具有高抽速、高交叉压力和长寿命等特点。

易于维护:可在不破坏真空或从腔室中取出泵的情况下进行现场维修,降低了维护成本和停机时间。

自动化操作:可选配Marathon低温泵控制器,实现全自动操作,提高生产效率。

技术参数

抽速:空气:1500 L/s,水:4200 L/s,氩气:1250 L/s,氢气:2300 L/s

通过量:氩气:11.0 torr-liters/sec.(870 sccm)

容量:氩气:1200标准升,氢气:25标准升

交叉压力:220 torr-liters

冷却时间:75分钟

入口法兰:ANSI 6英寸,ISO 200毫米或Conflat 10英寸

应用场景

半导体制造:用于制造集成电路、晶圆等。

平板显示:用于制造液晶显示屏、有机发光二极管等。

测试设备:用于测试真空系统的性能。

太阳能制造:用于制造太阳能电池。

涂层:用于真空镀膜。

热真空系统:用于模拟太空环境。

深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品:
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件,机器人系统配件,大型伺服系统备件。(专业停产配件,原厂正品,提供报关单,提供质保一年。)
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Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.
Main products:
ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
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