Description
MKS Granville-Phillips 390511-3-YE-P是一款高性能的真空测量模块，主要用于真空系统中对气压进行精确测量。它结合了多种测量技术，能够提供从高真空到大气压的宽范围、高精度测量。该产品广泛应用于半导体制造、科研、航空航天等领域。
MKS Granville-Phillips 390511-3-YE-P
主要特点与功能
多传感器组合：该模块集成了微离子（Micro-Ion）电离真空计、Conductron热损传感器和两个压阻传感器，能够覆盖从高真空到大气压的宽广测量范围。
高精度测量：通过结合不同传感器的优势，实现了高精度、高可靠性的测量。
数字显示：配备数字显示屏，可直接读取测量结果。
多种通信方式：支持RS-485和模拟输出，方便与其他设备连接。
三路设定点控制继电器：可实现简单的过程控制功能。
紧凑设计：模块化设计，体积小巧，安装方便。
技术参数
测量范围：1×10^-9 Torr至大气压
接口：NW25 ISO-KF法兰
通信：RS-485，模拟输出
显示：数字显示
控制：三路设定点控制继电器
应用领域
半导体制造：真空镀膜、离子注入等工艺过程的真空度监测。
科研实验：物理、化学实验中的真空系统。
航空航天：真空泵、真空腔体的压力测量。
产品优势
测量范围广：一款设备即可覆盖从高真空到大气压的测量范围。
精度高：多传感器组合保证了测量结果的准确性。
功能丰富：数字显示、多种通信方式、设定点控制等功能满足不同应用需求。
可靠性高：采用成熟的测量技术，具有较高的可靠性。
深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
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Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.
Main products:
ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
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