Description
产品概述
LAM 839-101612-885是一款由LAM Research Corporation生产的用于晶圆制造设备的电磁卡盘。该卡盘用于固定和旋转晶圆，使其能够进行蚀刻、沉积和其他工艺步骤。该卡盘以其高精度、高可靠性和高速度而著称。
产品规格
参数值
型号839-101612-885
晶圆尺寸8英寸
负载能力25公斤
旋转速度0-4000 rpm
加速度5 g
精度±5微米
可靠性MTBF>10,000小时
速度快速
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功能特点
高精度:该卡盘具有高精度，可确保晶圆的精确定位和旋转。
高可靠性:该卡盘采用高品质的元件和严格的质量控制流程制造，可确保其具有极高的可靠性。
高速度:该卡盘具有快速的速度，可满足高吞吐量应用的需求。
易用性:该卡盘具有直观的接口和易于使用的软件，可方便用户进行操作。
多种可选配置:该卡盘提供多种可选配置，可满足不同的应用需求。
应用领域
LAM 839-101612-885电磁卡盘通常应用于以下晶圆制造工艺：
蚀刻:用于去除晶圆上的多余材料。
沉积:用于在晶圆上沉积一层材料。
扩散:用于将掺杂剂扩散到晶圆中。
光刻:用于将图案转移到晶圆上。
清洗:用于清洁晶圆表面。
深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
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Telephone：13306008324（微信同号）
QQ：3775847453@qq.com
Email : sales@cxdcsplc.com
Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.
Main products:
ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
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