Description
产品概述
LAM 839-101612-885是一款由LAM Research Corporation生产的ESC电动夹持器，用于在半导体制造过程中夹持晶圆。该夹持器采用坚固耐用的设计，可提供高精度和可靠性，并具有以下特点：
额定负载：30 kg
夹持力：150 N
开合速度：0.5秒
精度：±5µm
重复性：±2µm
使用寿命：>100万次循环
通讯接口：RS232
应用领域
LAM 839-101612-885电动夹持器通常应用于以下半导体制造工艺：
晶圆拾取和放置:将晶圆从一个位置移动到另一个位置。
晶圆检测:检查晶圆上的缺陷。
晶圆清洁:清除晶圆上的灰尘和污染物。
晶圆蚀刻:在晶圆上形成微型电路图案。
晶圆沉积:在晶圆上沉积薄膜材料。
产品规格
参数值
型号839-101612-885
额定负载30 kg
夹持力150 N
开合速度：0.5秒
精度±5µm
重复性：±2µm
使用寿命：>100万次循环
通讯接口：RS232
尺寸：200 mm x 150 mm x 100 mm
重量：5 kg
Export to Sheets
功能特点
高精度:该夹持器采用高精度的伺服电机和先进的控制技术，可提供高精度的晶圆夹持。
高可靠性:该夹持器采用坚固耐用的设计和严格的质量控制流程制造，可确保其具有极高的可靠性。
易用性:该夹持器具有直观的界面和易于使用的软件，可方便用户进行配置和维护。
可扩展性:该夹持器支持多种通讯接口，可扩展其功能以满足不同的应用需求。
深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
我们可以为您询价并采购!
海量备货现货，为您节约成本，替您省钱，货期更火速!!!
购买咨询热线
联系人:曹经理
Telephone：13306008324（微信同号）
QQ：3775847453@qq.com
Email : sales@cxdcsplc.com
Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.
Main products:
ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
We can inquire and purchase for you!
Massive amount of stock in stock, for you to save costs, for you to save money, the cargo period is more hot!!!!
Purchase Hotline
Contact:Mr. Cao
Telephone：13306008324(WeChat)
WhatsApp: +86-15383419322
QQ：3775847453@qq.com
DS3820PSCB
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
我们可以为您询价并采购!
海量备货现货，为您节约成本，替您省钱，货期更火速!!!
购买咨询热线：13306008324
联系人:曹经理
Telephone：13306008324（微信同号）
QQ：3775847453@qq.com
Email : sales@cxdcsplc.com
Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.
Main products:
ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
We can inquire and purchase for you!
Massive amount of stock in stock, for you to save costs, for you to save money, the cargo period is more hot!!!!
Purchase Hotline：+86 13306008324
Contact:Mr. Cao
Telephone：13306008324(WeChat)
WhatsApp: +86-15383419322
QQ：3775847453@qq.com
