Description
概述
LAM 839-101612-885是一款用于LAM ESC气体分配系统的ESC CHUCK。该产品具有以下特点：
兼容多种气体：该卡盘可兼容多种气体，包括氮气、氧气、氩气和氟化物。
高流量：该卡盘可提供高流量，满足高通量应用需求。
高精度：该卡盘可提供高精度，确保气体分配的准确性。
易于维护：该卡盘采用模块化设计，易于维护。
应用领域
LAM 839-101612-885 ESC CHUCK通常应用于以下半导体制造工艺：
沉积:用于将薄膜沉积在晶圆上。
蚀刻:用于去除晶圆上的多余材料。
清洗:用于清洁晶圆表面。
扩散:用于将掺杂剂扩散到晶圆中。
离子注入:用于将离子注入到晶圆中。
产品规格
参数值
型号839-101612-885
兼容气体氮气、氧气、氩气、氟化物
流量高流量
精度高精度
维护易于维护
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功能特点
兼容多种气体:该卡盘采用兼容多种气体的材料和设计，可用于多种半导体制造工艺。
高流量:该卡盘采用高流量设计，可满足高通量应用需求，提高生产效率。
高精度:该卡盘采用高精度设计，可确保气体分配的准确性，提高晶圆质量。
易于维护:该卡盘采用模块化设计，易于拆卸和更换部件，降低维护成本。
深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
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Email : sales@cxdcsplc.com
Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.
Main products:
ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
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