Description
LAM 839-101612-885是一款用于蚀刻机的真空卡盘。它具有以下特点：
高精度:可确保蚀刻工艺的精度和一致性。
高可靠性:采用优质材料和先进的制造工艺，确保卡盘运行可靠稳定。
易于使用:提供简单的安装和使用方式。
LAM 839-101612-885
产品规格
参数值单位
型号839-101612-885
品牌LAM RESEARCH
类别真空卡盘
兼容设备LAM蚀刻机
卡盘尺寸Ø200 mm mm
真空度≤10-6 Torr Torr
运行速度最高500 rpm rpm
负载能力25 kg kg
工作温度0°C至+100°C°C
防护等级IP65
外形尺寸300 mm x 300 mm x 150 mm mm
重量20 kg kg
Export to Sheets
功能特点
高精度:LAM 839-101612-885真空卡盘采用高精度的轴承和密封技术，可确保卡盘的同心度和径向跳动精度，满足苛刻的蚀刻工艺要求。
高可靠性:该卡盘采用坚固耐用的结构和优质的材料，可承受高负载和恶劣的环境条件，并长期可靠运行。它经过严格的测试和质量控制，确保其性能和可靠性。
易于使用:该卡盘提供简单的安装和使用方式。它具有标准的接口，可以轻松连接到LAM蚀刻机和其他设备。
应用领域
LAM 839-101612-885真空卡盘广泛应用于以下领域：
半导体制造:用于在晶圆上进行蚀刻工艺，制造各种半导体器件。
太阳能电池制造:用于在太阳能电池片上进行蚀刻工艺，提高电池的效率和功率。
LED制造:用于在LED芯片上进行蚀刻工艺，提高LED的亮度和光效。
LCD制造:用于在LCD衬底上进行蚀刻工艺，制造高精度和高分辨率的显示屏。
其他应用:还用于其他应用，例如微电子制造、光学元件制造、生物医学等，提供高精度和高可靠的真空夹持解决方案。
深圳长欣自动化设备有限公司
主营产品：
ABB、GE、TRICONEX、FOXBORO、BENTLY、EMERSON、XYCOM、HONEYWELL、BENTLY、HIMA、YOKOGAWA、ROCKWELL、Allen-Bradley、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、WESTINGHOUSE、WOODWAED、MOTOROLA、PROSOFT、REXROTH、ACSO、丹控。等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原厂正品，提供报关单，提供质保一年。)
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Email : sales@cxdcsplc.com
Shenzhen Changxin Automation Equipment Co.
Main products:
ABB, GE, TRICONEX, FOXBORO, BENTLY, EMERSON, XYCOM, HONEYWELL, BENTLY, HIMA, YOKOGAWA, ROCKWELL, Allen-Bradley, RELIANCE, SCHNEIDER, MODICON, WESTINGHOUSE, WOODWAED, MOTOROLA, PROSOFT, REXROTH, ACSO, Dan control. And other major brands of DCS system parts, robotics system parts, large servo system spare parts. (Professional discontinued parts, original genuine products, provide customs declaration, provide warranty for one year.)
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